Chinesische Chiphersteller haben nach Schätzungen einer US-Forschungsinitiative 343 Immersions-Lithografiesysteme von ASML erworben. Die Anlagen könnten dem Land helfen, seine Chipproduktion trotz Exportbeschränkungen auszubauen. Die Initiative fordert deshalb strengere Regeln.
China hat sich offenbar einen umfangreichen Bestand an Lithografiesystemen des niederländischen Herstellers ASML gesichert. Die neu gegründete, überparteiliche US-Forschungsinitiative Center for Technology & Statecraft (CTS) schätzt die Zahl der gekauften Immersionsanlagen auf 343. Mit diesen Maschinen lassen sich auch anspruchsvolle Halbleiter fertigen – allerdings mit einem deutlich höheren Aufwand als mit modernster Ausrüstung.
Den größten Anteil macht laut CTS das Modell Twinscan NXT:1980Di aus: Chinesische Unternehmen sollen insgesamt 270 dieser Anlagen gekauft haben. Die Baureihe stammt aus dem Jahr 2015. Von den neueren Generationen NXT:2050i und NXT:2100i gelangten dem Bericht zufolge zusammen 28 Exemplare nach China. Das jüngste Modell NXT:2150i wurde offenbar nicht mehr geliefert.
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Die Verteilung deutet darauf hin, dass die niederländischen Exportbeschränkungen den Zugang zu neueren Anlagen begrenzen. Die Niederlande hatten 2023 auf Drängen der USA strengere Vorgaben eingeführt. Grenzwerte für Auflösung und Ausrichtungsgenauigkeit machten den NXT:1980Di damals zur leistungsfähigsten noch für China zugelassenen Baureihe.
Die untersuchten Systeme arbeiten mit tief-ultraviolettem Licht, kurz DUV, mit einer Wellenlänge von 193 Nanometern. Bei der Immersions-Lithografie befindet sich zwischen dem letzten Linsenelement und dem Siliziumwafer eine dünne Schicht Reinstwasser. Sie erhöht die numerische Apertur des optischen Systems und ermöglicht dadurch eine feinere Auflösung. ASML gibt diese mit 38 Nanometern an.
Durch mehrere aufeinander abgestimmte Belichtungs- und Bearbeitungsschritte können Hersteller dennoch Chips der sogenannten 7-Nanometer-Generation produzieren. Auch Prozesse der 5-Nanometer-Klasse gelten als möglich, allerdings mit zusätzlichen Schwierigkeiten und einer potenziell geringeren Ausbeute funktionierender Chips. Die Bezeichnungen der Fertigungsgenerationen entsprechen dabei nicht unmittelbar den tatsächlichen Strukturbreiten.
Für Unternehmen wie SMIC und Huawei ist dieser aufwendige Weg eine Möglichkeit, trotz eingeschränkten Zugangs zu ausländischer Fertigung und moderner Ausrüstung leistungsfähige Smartphone-Prozessoren und KI-Beschleuniger herzustellen. Neuere DUV-Anlagen würden die Produktion erleichtern: Ihre höhere Ausrichtungsgenauigkeit hilft, die Strukturen mehrerer Belichtungsschritte präzise übereinanderzulegen.
Für ihre modernsten Fertigungsprozesse setzen führende Chiphersteller hingegen auf EUV-Lithografie mit extrem-ultraviolettem Licht. Solche ASML-Systeme wurden bislang nicht nach China exportiert.
Großer Maschinenbestand schafft Spielraum
Nach Einschätzung des CTS haben chinesische Unternehmen aus Sorge vor weiteren Einschränkungen erhebliche Maschinenbestände aufgebaut. Diese könnten künftig einen Ausbau der Fertigung ermöglichen.
Ein einzelner NXT:1980Di schafft unter optimalen Bedingungen etwa 275 Wafer-Belichtungen pro Stunde. Bei durchgehendem Betrieb wären das rund 198.000 pro Monat. Diese Zahl entspricht allerdings nicht der Menge fertig produzierter Wafer: Für komplexe Chips sind zahlreiche Belichtungsschritte erforderlich. Hinzu kommen Wartung, Stillstandszeiten und weitere Produktionsschritte.
Trotzdem stellen allein die geschätzten 270 Anlagen dieser Baureihe eine erhebliche Kapazität dar. Wie stark China sie tatsächlich nutzen kann, hängt auch von der übrigen Fabrikausrüstung und der Beherrschung der Fertigungsprozesse ab.
Auch wirtschaftlich war China für ASML ein bedeutender Markt. Von 2012 bis 2025 erzielte der Konzern mit chinesischen Kunden nach den genannten Angaben rund 41 Milliarden Euro Umsatz. Der größte Teil entfiel auf Maschinenverkäufe, ein kleinerer auf Wartung und Aufrüstung. Den Höchststand erreichte der Jahresumsatz 2024 mit 10,2 Milliarden Euro.
Die CTS-Initiative fordert angesichts des vorhandenen Maschinenparks härtere Beschränkungen. Ihre Schätzungen zeigen zugleich, dass begrenzter Zugang zu modernster Technik und beträchtliche Produktionsreserven nebeneinander bestehen können.
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Sladjan ist Webdesigner, Frontend-Entwickler und WordPress-Experte mit dem Schwerpunkt Full Site Editing (FSE). Als Webenthusiast arbeitet er seit 2006 mit HTML und CSS und ab 2016 mit WordPress. Seit 2018 arbeitet er mit WooCommerce und erstellt kleine, minimalistische und responsive Websites sowie kleinere Online-Shops. Seit 2019 ist er Zertifizierter SEM-Manager & Webanalyst (Webmasters Akademie) und seit 2024 Geprüfter Webdesigner (OfG).
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