Chinas EUV-Ambitionen: Langdao Silex zeigt Prototyp einer eigenen Lichtquelle
Das junge Unternehmen will eine Schlüsselkomponente für chinesische EUV-Lithografiesysteme liefern. Die vorgestellten Leistungsdaten zeigen jedoch, wie groß der Abstand zur industriell etablierten Technik noch ist. China arbeitet daran, bei der Fertigung moderner Halbleiter unabhängiger von ausländischen Zulieferern zu werden. Einen Baustein dafür entwickelt das erst zwei Jahre alte Unternehmen Langdao Silex: eine laserbasierte Lichtquelle für…
